短波红外相机具有灵敏度高、动态范围广等一些特殊性能可以穿透一些特殊材料。例如在半导体晶网格缺陷检测中可以穿透半导体本身发现内部缺陷、可以穿透半导体硅片可以对硅原材料和太阳能电池板进行内部无损检测、可以对现在集成电路多层内存单元及内部结构进行无损彻底检测,所以短波红外相机在半导体检测中具有特殊应用。
对集成电路及系统检测
对太阳能硅锭内部检测
对太阳能电池片分选
对太阳能组件性能检测
对微小MEMS电路结构检测
对半导体材料生长检测
其他
